備注:紅色方框中第6組為平行平晶常用規(guī)格,其他第1-5組需要定做;
2、測量準(zhǔn)確度:按JJG28-2019標(biāo)準(zhǔn);
1)測量面平行度偏差:
組1系列(0-25mm)允許誤差值:0.6μm
組2系列(25-50mm)允許誤差值:0.6μm
組3系列(50-75mm)允許誤差值:0.8μm
組3系列(75-100mm)允許誤差值:1.0μm
2)每組平行平晶共4塊,分四個尺寸系列組,四組共計(jì)16塊;
3)測量面上平面度偏差:<0.1μm
4)平面度局部偏差:大于0.03μm
5) 檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn) (GB 903 無色光學(xué)玻璃)
6)平晶必須放置在(20士5)℃和濕度不大于80 % RH的檢定室內(nèi)進(jìn)行等溫,等溫時間不少于8小時;